微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版
本书特色
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本单行本为《微机电系统设计与激光》,主要介绍微机电系统基本概念与应用领域、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等;激光加工概论(激光器基础、加工中常用的激光器、激光加工物理基础)、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光淬火、激光熔覆与合金化、激光冲击强化、激光在其它机械工程领域的应用、激光加工的安全防护等。
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内容简介
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《机械设计手册第5版 单行本》系列图书是以曾荣获中国出版政府奖提名奖,中国机械工业科学技术奖一等奖等国家及行业重量级奖项的《机械设计手册第5版》为基础,本着方便读者查阅、降低读者购买成本为宗旨而出版的经典再版图书。本套丛书共38分册,内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容,具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。
本书供从事机械设计、制造、维修及有关工程技术人员作为工具书使用,也可供大专院校的有关专业师生使用和参考。
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作者简介
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闻邦椿,现为东北大学教授、博士研究生导师、东北大学机械设计及理论研究所名誉所长,东北大学 “重大机械装备设计与制造关键共性技术创新平台”985工程建设的首席教授。2007年当选为中国科学院院士。现任国际转子动力学技术委员会委员、国际机器理论与机构学联合会中国委员会委员。
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目录
出版说明第5版前言第29篇 微机电系统及设计 第1章 微机电系统概述 1 基本概念 1.1 微传感器 1.2 微执行器 1.3 微机电系统的基本特征 1.4 微机电系统和微电子的比较 2 微机电系统发展历程 3 微机电系统及相关技术 3.1 微机电系统组成 3.2 微机电系统设计 3.3 微机电系统制造 3.4 微机电系统封装 3.5 微机电系统装配 3.6 系统封装(sip) 3.7 微机电系统可靠性 3.8 微机电系统测试 4 微机电系统应用领域 4.1 微机电系统在汽车中的应用 4.2 微机电系统在医疗和生命科学领 域的应用 4.3 微机电系统在航天工业的应用 4.4 微机电系统在电信领域中的应用 第2章 微机电系统制造 1 体硅微机械加工技术 1.1 硅晶体的描述 1.2 各向同性腐蚀 1.3 各向异性腐蚀 1.3.1 不同腐蚀液中的腐蚀速率 1.3.2 腐蚀速率与温度的关系 1.3.3 腐蚀速率与腐蚀液含量的关系 1.3.4 腐蚀速率与衬底掺杂浓度的 关系 1.3.5 不同腐蚀液中的腐蚀表面状况 1.3.6 各向异性腐蚀加工技术中的 凸角补偿方法 1.4 深反应离子刻蚀 1.4.1 刻蚀原理 1.4.2 载片台温度与sf6/o2配比 的影响 1.4.3 sf6流量与icp功率的影响 1.4.4 滞后效应和凹缺效应 1.4.5 深反应离子刻蚀工艺优化 1.5 硅直接键合技术 1.5.1 硅直接键合技术的分类 1.5.2 键合前的清洗 1.5.3 键合表面的活化 1.5.4 平整度对键合的影响 1.5.5 键合后的热处理 1.5.6 键合质量的表征 2 表面微机械加工技术 2.1 表面微机械加工的薄膜材料及其 特性 2.1.1 多晶硅 2.1.2 氧化硅 2.1.3 氮化硅 2.1.4 其他表面微机械加工材料 2.2 牺牲层释放腐蚀技术 2.2.1 氧化硅牺牲层的腐蚀 2.2.2 粘附问题及其解决方案 2.3 标准化的表面微机械加工工艺 2.3.1 mumps加工工艺 2.3.2 summittm-v加工工艺 3 玻璃微机械加工技术 3.1 湿法刻蚀 3.2 干法刻蚀 4 uv-liga技术 5 其他微机械加工技术 6 微机电系统制造工艺优先 第3章 微机电系统设计 1 设计工具 2 微机械润滑 3 静电执行器 4 压电执行器 5 热执行器 6 热气动和相变执行器 7 磁执行器 8 执行器比较 第4章 微机电系统实例 1 微机械压力传感器 2 微机械惯性传感器 3 微滴发生器 4 微流控芯片 5 微机械装置 6 微机器人参考文献第31篇 激光及其在机械工程中的应用 第1章 激光加工概论 1 激光机基础 2 加工中常用的激光器 3 激光加工物理基础 第2章 激光打孔 1 激光打孔的特点与分类 2 激光打孔的原理及物理过程 3 激光打孔工艺参数 4 激光打孔的质量检验 第3章 激光切割 1 激光气割机理 2 激光切割质量 3 影响激光切割质量的因素 4 常用工程材料的激光切割 第4章 激光焊接 1 激光焊接原理与分类 2 激光热传导焊接 3 激光深熔焊接 4 激光焊接中常出现的问题 5 典型材料的机关焊接 第5章 激光淬火 1 激光淬火原理与特点 2 激光淬火质量 3 激光淬火工艺及参数 第6章 激光熔覆于合金化 1 激光熔覆于合金化的基础 2 激光熔覆 3 激光合金化 4 激光熔覆于合金化的质量控制 第7章 激光冲击强化 1 概述 2 激光冲击过程机理 3 激光冲击的两种模型 4 涂层和约束涂层技术 5 激光冲击设备 6 典型材料的激光冲击强化效果 第8章 激光在其他机械工程领域的应用 1 激光板料成形 2 激光毛化 3 激光标记 4 激光表面非晶化 5 激光清洗 6 激光全息干涉无损检测技术 第9章 激光加工的安全防护 1 激辐射的危害 2 使用激光时伴随的危害 3 激光安全防护标准 4 激光危害分类 5 激光危害的工程控制参考文献
封面
书名:微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版
作者:闻邦椿
页数:102
定价:¥38.0
出版社:机械工业出版社
出版日期:2015-01-01
ISBN:9787111491507
PDF电子书大小:74MB 高清扫描完整版