纳机电系统

本书特色

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本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。

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目录

译者序 原书前言 物理常数 物理量 第1章从MEMS到NEMS 1 1.1微纳机电系统：概述1 1.2小结7 第2章纳米尺度上的转导与噪声的概念9 2.1机械传递函数9 2.2转导原理14 2.2.1纳米结构的驱动15 2.2.2检测21 2.3自激振荡与噪声34 2.4小结39 第3章NEMS与其读出电路的 单片集成41 3.1简介41 3.1.1为什么要将NEMS与其读出电路进行集成41 3.1.2 MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别42 3.2单片集成的优势与主要途径43 3.2.1集成方案及其电气性能的比较43 3.2.2闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块46 3.2.3从制造技术的角度概述主要成就47 3.3从转导的角度对一些显著成就的分析51 3.3.1电容式NEMS-CMOS的案例51 3.3.2压阻式NEMS-CMOS的案例55 3.3.3替代途径58 3.4小结与未来展望59 第4章NEMS与尺度效应60 4.1简介60 4.1.1固有损耗64 4.1.2外部损耗65 4.2纳米结构中的近场效应：卡西米尔力69 4.2.1卡西米尔力的直观解释69 4.2.2问题70 4.2.3两个硅板之间卡西米尔力的严格计算72 4.2.4纳米加速度计内卡西米尔力的影响76 4.2.5本节小结79 4.3“固有”尺度效应的示例：电传导定律80 4.3.1电阻率80 4.3.2压阻效应85 4.4光机纳米振荡器和量子光机93 4.5小结101 第5章结论与应用前景：从基础物理到应用物理102 附录114 附录A针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺114 A.1“自下而上”制造114 A.2“自上而下”制造116 附录B卡西米尔力详述117 参考文献119

封面

书名:纳机电系统

作者:劳伦.特拉夫格

页数:134

定价:¥59.0

出版社:机械工业出版社

出版日期:2018-04-01

ISBN:9787111591276

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