机械设计手册 微机电系统及设计
本书特色
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《机械设计手册》第6版 单行本共26分册，内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容，具有系统全面、信息量大、内容现代、突显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计资料和数据》《机械制图与机械零部件精度设计》《机械零部件结构设计》《连接与紧固》《带传动和链传动摩擦轮传动与螺旋传动》《齿轮传动》《减速器和变速器》《机构设计》《轴弹簧》《滚动轴承》《联轴器、离合器与制动器》《起重运输机械零部件和操作件》《机架、箱体与导轨》《润滑密封》《气压传动与控制》《机电一体化技术及设计》 《机电系统控制》《机器人与机器人装备》《数控技术》《微机电系统及设计》《机械系统概念设计》《机械系统的振动设计及噪声控制》《疲劳强度设计机械可靠性设计》《数字化设计》《工业设计与人机工程》《智能设计仿生机械设计》。
本单行本为《微机电系统及设计》，主要介绍了微机电系统概述、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等内容。
本书供从事机械设计、制造、维修及有关工程技术人员作为工具书使用，也可供大专院校的有关专业师生使用和参考。
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目录
出版说明前言第28篇微机电系统及设计第1章微机电系统概述1基本概念28-31��1微传感器28-31��2微执行器和微结构28-31��3微机电系统的基本特征28-41��4微机电系统技术和微电子技术的比较28-42微机电系统发展历程28-43微机电系统及相关技术28-53��1微机电系统组成28-53��2微机电系统设计28-63��3微机电系统制造28-63��4微机电系统封装28-73��5微装配28-83��6系统封装（SiP）28-83��7微机电系统可靠性28-93��8微机电系统测试28-94微机电系统应用领域28-104��1微机电系统在汽车中的应用28-104��2微机电系统在医疗和生命科学领域中的应用28-114��3微机电系统在电信领域中的应用28-11第2章微机电系统制造1体硅微机械加工技术28-121��1硅晶体的描述28-121��2各向同性腐蚀28-121��3各向异性腐蚀28-131��3��1不同腐蚀液中的腐蚀速率28-131��3��2腐蚀速率与温度的关系28-141��3��3腐蚀速率与腐蚀液含量的关系28-151��3��4腐蚀速率与衬底掺杂浓度的关系28-151��3��5不同腐蚀液中的腐蚀表面状况28-161��3��6各向异性腐蚀加工技术中的凸角补偿方法28-161��4深反应离子刻蚀28-171��4��1刻蚀原理28-171��4��2载片台温度与SF6/O2配比的影响28-181��4��3SF6流量与ICP功率的影响28-191��4��4滞后效应和凹缺效应28-191��4��5深反应离子刻蚀工艺优化28-201��5硅直接键合技术28-211��5��1硅直接键合技术的分类28-211��5��2键合前的清洗28-221��5��3键合表面的活化28-231��5��4平整度对键合的影响28-231��5��5键合后的热处理28-241��5��6键合质量的表征28-242表面微机械加工技术28-262��1表面微机械加工的薄膜材料及其特性28-262��1��1多晶硅28-262��1��2氧化硅28-282��1��3氮化硅28-302��1��4碳化硅28-302��1��5其他表面微机械加工材料28-312��2牺牲层释放腐蚀技术28-312��2��1氧化硅牺牲层的腐蚀28-312��2��2黏附问题及其解决方案28-332��3标准化的表面微机械加工工艺28-362��3��1MUMPS加工工艺28-362��3��2SUMMiTTM�睼加工工艺28-363玻璃微机械加工技术28-373��1湿法刻蚀28-373��2干法刻蚀28-383��3阳极键合28-393��4模具成型28-403��5其他加工方法28-424UV�睱IGA技术28-424��1工艺流程28-434��2去胶工艺28-454��3SU��8胶光学特性28-474��4SU��8胶其他特性28-485其他微机械加工技术28-485��1激光微加工技术28-485��2电火花微加工技术28-505��3热压微成型技术28-515��4注射微成型技术28-526微机电系统制造工艺优化28-536��1常用材料的刻蚀特性28-536��2微机电系统加工技术比较28-606��3工艺设计及优化28-61目录目录第3章微机电系统设计1设计工具28-641��1CoventorWare简介28-641��2CoventorWare设计实例28-651��3IntelliSuite简介28-661��4IntelliSuite设计实例28-672微机械润滑28-702��1比例尺度基础知识28-702��1��1立方定律28-702��1��2连续介质假设28-702��1��3表面粗糙度28-712��2润滑的基本方程28-712��3Couette流阻尼28-712��4压膜阻尼28-722��4��1基本方程28-722��4��2通气孔效应28-722��5摩擦和磨损28-733静电执行器28-733��1面内运动执行器28-733��2离面运动执行器28-733��3性能参数28-743��4材料参数28-743��5材料选择优化28-753��6多层材料的选择28-764压电执行器28-764��1执行器性能设计28-774��2材料选择28-784��3性能综合28-815热执行器28-825��1双层材料热执行器基本原理28-825��2性能设计28-825��3性能指标的优化28-835��4双层材料执行器材料选择28-855��5执行器设计的其他因素28-896热气动和相变执行器28-896��1热气动执行器的原理28-896��2隔膜结构的机械设计28-896��3热气动执行器的热学性能28-936��4热气动执行器的材料选择28-946��5相变执行器28-946��6设计综合28-957磁执行器28-957��1按比例缩小规则28-957��2永磁体和线圈间的等效28-967��3微线圈中的电流密度28-977��4磁相互作用的优点28-978执行器比较28-988��1微执行器分类28-988��2MEMS执行器和宏观执行器的性能图28-988��2��1*大力和*大位移28-988��2��2位移分辨力与*大位移28-1008��2��3*大频率与*大位移28-100第4章微机电系统实例1微机械压力传感器28-1011��1器件结构与性能参数28-1011��2压阻式压力传感器28-1021��3电容式压力传感器28-1051��3��1设计改进28-1061��3��2电路集成和器件补偿28-1071��4其他类型压力传感器28-1091��4��1谐振式压力传感器28-1091��4��2伺服控制式压力传感器28-1091��4��3隧道压力传感器
封面
书名:机械设计手册 微机电系统及设计
作者:闻邦椿
页数:142
定价:¥39.0
出版社:机械工业出版社
出版日期:2020-04-01
ISBN:9787111648970
PDF电子书大小:111MB 高清扫描完整版