光学薄膜技术
本书特色
[
本书系统地介绍薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法，适当地介绍一些新设计方法、新器件设计、新工艺技术。 全书共7章，主要内容包括：薄膜光学基础，器件设计方法，薄膜制造基本方法，高质量光学薄膜器件的工艺方法，光学薄膜材料，光学薄膜特性测试，功能薄膜及其应用。
]
作者简介
[
卢进军，西安工业大学光电学院教授，从事光学领域的教学、科研工作，主编教材《光学薄膜技术》。
]
目录
第1章薄膜光学特性计算基础 1��1引言 1��2单一界面的反射率和透射率 1��3单层介质膜的反射率 1��3��1单层介质膜与基底组合的等效光学导纳 1��3��2单层介质膜的光学特性 1��4多层介质膜的反射率和透射率 1��5金属薄膜的光学特性 1��6光学零件的反射率和透射率 1��7光学薄膜的色度表征与计算 1��7��1光学薄膜的透、反射率光谱与颜色 1��7��2CIE1931标准色度系统简介 1��7��3薄膜颜色的色度学表征 思考题与习题 第2章介质膜系及其应用 2��1减反射膜 2��1��1单层减反射膜 2��1��2双层减反射膜 2��1��3多层减反射膜 2��1��4高折射率基底的减反射膜 2��1��5含吸收层的防眩光减反射膜 2��2高反射膜 2��2��1周期性多层膜堆的反射率 2��2��2（LH）S周期性多层膜堆的高反射带 2��2��3高反射带的展宽 2��2��4倾斜入射时的高反射带 2��2��5金属反射膜 2��3中性分束膜 2��3��1介质中性分光镜 2��3��2偏振中性分束棱镜 2��3��3金属中性分光镜 2��4截止滤光片 2��4��1多层膜堆的通带透射率 2��4��2通带波纹的压缩 2��4��3通带的展宽和压缩 2��4��4截止波长和截止带中心的透射率 2��4��5截止滤光片倾斜使用时的偏振效应 2��4��6截止滤光片的应用 2��5带通滤光片 2��5��1法布里-珀罗滤光片特性 2��5��2全介质法布里-珀罗滤光片 2��5��3诱导透射滤光片 2��5��4法布里-珀罗滤光片的*新应用 2��5��5宽带通滤光片 2��6偏振分束膜 2��6��1胶合棱镜介质偏振分光膜 2��6��2平板介质偏振分光镜 2��6��3金属栅偏振分光镜 2��7消偏振膜系 2��7��1单波长消偏振 2��7��2受抑全反射宽波段消偏振分光镜 2��7��3金属-介质组合膜堆宽波段消偏振 2��7��4消偏振截止滤光片 思考题与习题 第3章光学薄膜制造技术 3��1光学真空镀膜机 3��2真空与物理气相沉积 3��3真空获得与检测 3��3��1真空泵 3��3��2低温冷凝泵 3��3��3PVD使用的高真空系统 3��3��4真空度的检测 3��4热蒸发 3��5溅射 3��5��1辉光放电溅射 3��5��2磁控溅射 3��5��3离子束溅射 3��5��4离子、靶材与溅射率 3��6离子镀 3��7离子辅助镀 3��8等离子体增强化学气相沉积 3��8��1PECVD过程的动力学 3��8��2PECVD装置 思考题与习题 第4章光学薄膜制造工艺 4��1光学薄膜器件的质量要素 4��2影响膜层质量的工艺要素 4��2��1影响薄膜器件质量的工艺要素及作用机理 4��2��2提高膜层机械强度的工艺途径 4��2��3控制膜层折射率的主要工艺途径 4��2��4获得致密膜层的方法 4��3获得精确厚度的方法 4��3��1目视法 4��3��2极值法 4��3��3光电定值法 4��3��4任意膜厚的单波长监控 4��3��5石英晶振法 4��3��6宽光谱膜厚监控 4��4获得均匀膜层的方法 4��4��1影响膜层厚度均匀性的因素 4��4��2获得均匀膜层厚度的途径 思考题与习题 第5章薄膜材料及其性质 5��1薄膜的微观结构与性质 5��1��1薄膜结构的材料学基础 5��1��2薄膜的光学性质 5��1��3薄膜的力学性质 5��2常用光学薄膜材料 5��2��1金属薄膜 5��2��2介质薄膜 5��2��3特殊材料 思考题与习题 第6章光学薄膜特性测试与分析 6��1光学薄膜特性的检测标准 6��1��1国标（JB/T 6179—92）中规定的光学零件镀膜的分类、符号及标注 6��1��2国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检测项目 6��1��3国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜试验方法 6��1��4国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检验规则 6��2薄膜透射率、反射率的测量 6��2��1光谱仪的基本原理 6��2��2薄膜透射率的测量 6��2��3薄膜反射率的测量 6��3薄膜光学常数和厚度的测量 6��3��1光度法确定薄膜的光学常数 6��3��2椭圆偏振法确定薄膜的光学常数 6��3��3薄膜厚度的测量 6��4薄膜吸收和散射的测量 6��4��1薄膜吸收损耗的测量 6��4��2薄膜散射损耗的测量 6��5薄膜激光损伤阈值的测量 6��5��1薄膜激光损伤的机理分析 6��5��2薄膜激光损伤阈值的测量标准及方法 6��5��3薄膜抗激光损伤阈值测量中应注意的几个问题 6��6薄膜非光学特性的检测 6��6��1薄膜附着力的测量 6��6��2薄膜应力的测量 6��6��3薄膜的环境试验 6��6��4薄膜结构和化学成分检测 思考题与习题 第7章功能薄膜及其应用 7��1透明导电薄膜 7��1��1透明导电薄膜的分类 7��1��2透明导电薄膜的基本特性 7��1��3透明导电氧化物薄膜的制备 7��1��4透明导电氧化物薄膜的特性测试 7��1��5透明导电氧化物薄膜的应用 7��2太阳能薄膜 7��2��1太阳能光热转换薄膜 7��2��2太阳能光电转换薄膜 7��3超硬薄膜材料 7��3��1金刚石薄膜 7��3��2类金刚石（DLC）薄膜 7��3��3立方氮化硼薄膜 7��3��4CNx薄膜 7��3��5其他硬质薄膜 7��4相位膜 7��4��1屋脊棱镜的偏振像差 7��4��2矫正偏振像差的相位膜 7��4��3屋脊棱镜偏振像差的表征与检测 思考题与习题 附录A常见薄膜材料参数 参考文献
封面
书名:光学薄膜技术
作者:卢进军[等]编著
页数:246页
定价:¥59.9
出版社:电子工业出版社
出版日期:2020-05-01
ISBN:9787121385810
PDF电子书大小:101MB 高清扫描完整版