微机械电子系统及其应用-(第2版)

本书特色

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微机械电子系统及期应用（第2版）在**版的基础上，结合近年相关专业技术、理论的*新发展和编者近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展，内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理。
　　全书内容丰富、图文恰当、新颖实用，可作为普通高校大学本科高年级大学生和有关专业研究生的教材，也可供从事mems/nems技术的科技人员参考。

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目录

第1章微机电系统的组成和应用　1.1引言　1.2微机电系统的特征　1.3微机电系统的材料和制造技术　1.4微机电系统的测量技术　1.5微机电系统的应用　　1.5.1在航空航天方面的应用　　1.5.2在生物医学方面的应用　　1.5.3在微流量系统方面的应用　　1.5.4在扫描探针显微术方面的应用　　1.5.5在信息科学方面的应用　　1.5.6在微光学方面的应用　1.6结语　　思 考 题第2章微机电系统材料　2.1概述　2.2硅及其化合物材料　　2.2.1单晶硅　　2.2.2多晶硅　　2.2.3硅蓝宝石　　2.2.4碳化硅　　2.2.5氧化硅和氮化硅　2.3化合物半导体材料　2.4光导纤维　2.5熔凝石英　2.6金刚石材料　2.7压电材料　　2.7.1压电效应（电致伸缩效应）　　2.7.2压电石英晶体　　2.7.3压电陶瓷　　2.7.4聚偏二氟乙烯薄膜　　2.7.5zno压电薄膜　　2.7.6压电自感知驱动器　2.8磁致伸缩材料　2.9形状记忆合金　2.10膨胀合金　　2.10.1铁镍低膨胀系数合金（4j36）　　2.10.2铁、镍、钴玻璃封接合金（4j29）　　2.10.3铁、镍、钴瓷封合金（4j33）　2.11几种通用金属材料　2.12超导材料　2.13纳米相材料　　思 考 题第3章微机械制造技术　3.1概述　3.2硅微机械制造技术　　3.2.1表面微加工技术　　3.2.2体型微加工技术　3.3liga技术和sliga技术　　3.3.1liga技术　　3.3.2sliga技术　3.4固相键合技术　　3.4.1技术要求　　3.4.2键合方法　3.5特种加工技术　　3.5.1激光加工技术　　3.5.2电子束加工技术　3.6纳米结构（器件）制造工艺方法简述　　3.6.1引言　　3.6.2纳米结构新工艺技术探讨　　思 考 题第4章微机械执行器　4.1概述　4.2微电机　　4.2.1静电力驱动变电容式微电机　　4.2.2静电驱动谐波式微电机　　4.2.3电悬浮微电机　4.3微泵和微阀　　4.3.1微流量控制系统　　4.3.2微型泵　4.4梳状微谐振器　　4.4.1梳状微谐振器的结构和工作原理　　4.4.2谐振梳弹性系统的固有频率　　思 考 题第5章微机械硅电容式传感器　5.1概述　5.2集成式硅电容压力传感器　　5.2.1原理结构　　5.2.2方膜片的小挠度近似计算　　5.2.3检测电路　　5.2.4硅电容式集成压力传感器的接口电路　5.3力平衡式硅电容加速度传感器　　5.3.1摆式结构脉宽调制静电力平衡式加速度传感器　　5.3.2梳齿结构静电力平衡式加速度传感器　　5.4电子隧道效应加速度传感器　　5.4.1电子隧道效应　　5.4.2力平衡式隧道加速度传感器　　思 考 题第6章微机械硅谐振式传感器　6.1概述　6.2硅谐振式传感器的物理机制　　6.2.1测量原理　　6.2.2品质因数　　6.2.3谐振梁的微分方程　6.3激励和检测机制　　6.3.1静电激励与电容检测　　6.3.2电热激励与压敏电阻检测　　6.3.3光热激励与光纤检测　　6.3.4电磁激励与检测　　6.3.5压电激励与检测　6.4硅谐振式传感器　　6.4.1硅谐振梁式压力传感器　　6.4.2硅谐振式加速度传感器　　6.4.3硅谐振式角速率传感器　　6.4.4谐振式碳纳米管质量传感器　　思 考 题第7章微机械弱信号检测与处理　7.1概述　7.2微弱信号检测技术　　7.2.1滤波技术　　7.2.2开关电容技术　　7.2.3频域信号的相关检测技术　　7.2.4锁相环理论　　7.2.5时域信号的取样平均技术　　7.2.6抗干扰的技术措施　思 考 题　参考文献  

封面

书名:微机械电子系统及其应用-(第2版)

作者:刘广玉

页数:196

定价:¥28.0

出版社:北京航空航天大学出版社

出版日期:2015-01-01

ISBN:9787512414518

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